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美国FEI场发射扫描电子显微镜

发布时间:2022-05-30 21:43 来源: 作者:

场发射扫描电子显微镜(SEM)

型号:MLA650F

生产厂家:美国FEI

技术参数:

扫描电镜:

1、分辨率:二次电子(SE)成像:高真空模式:30 kV时 1.0 nm;背散射电子(BSE)成像:高真空模式:30 kV时2.5 nm;

2、加速电压: 200 V - 30 kV

3、放大倍数: 6 x-1,000,000 x

能谱仪:

1、探头类型:电制冷硅漂移(SDD)探测器,无需液氮

2、探测器面积:30 mm2

3、能量分辨率(Mn Ka):在100,000 CPS条件下优于133 eV

4、可分析元素范围:Be4~Am95

主要功能:

扫描电镜:

1、利用二次电子像对导电干燥样品进行表面微区形貌观察(表面几何形态、形状,尺寸),缺陷检查;

2、利用背射电子像进行元素分布的定性分析

能谱仪:

1.配合电镜在材料微区表面做点、线、面的元素分布分析

样品要求:

1、样品应无毒性、无腐蚀性、无放射性、无磁性;

2、低熔点材料、电子束照射下会分解或释放出气体的样品不能检测;

3、粉末样品:直接粘贴于双面导电胶上;

4、块体样品:尽可能小块,表面平整,同一批次的样品高度相同,不能有粉尘出现。

联系人:

胡老师13870771935

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